第280章 检验 （上）
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这年头，类似双拥、军民共建单位啥的在正规档案上还没出现，倒是各路部队三產蓬勃发展蒸蒸日上，由於年代的缘故，这类部队三產单位是安置退役官兵的一大主力，比如联航就是最明显的例子。
远嘉某种程度上还真有部队三產的属性，从预备役角度搞个民兵团编製绝对符合当前政策，一般来说民兵的预算归地方、人武部、企业三家协商解决，装备由军区调整或人武部购买，装备范围是共和国现役制式装备。
当然，靠山吃山靠水吃水这条大定理在这裡依然管用，比如靠近北方边境的民兵师由於靠近坦克厂就装备了现役五对轮。
1000所能搞的东西不少，翁承基自然也是代入了靠啥吃啥的定律，以翁承基目前知道的1000所研发计划而言，一旦新装备问世多了不敢说装备一个连帮忙做定型测试肯定没问题，远嘉安保人员本来就素质一流，如果装备也一流了拿下个大比武第一还不玩似的。
几人说话间机场叉车叉著罩著军绿色偽装网的箱子从贝尔法斯特的宽大尾门裡慢慢的行驶出来，有了机械化作业，十吨轻水卸载的速度极快，只用了十五分鐘，接货的卡车就驶离了机场。
此时的科技园已经进入了外松内紧的状态，好在由於1000所的缘故，这种情况对於已经见多识广科技园的员工来说不算什麼异常。
港基集电的中试车间已经粗糙的改造了一台设备，打算直接对梁远的想法进行验证。
这时候就看出来火炬计划的好处了，别看5微米的线宽落伍，但港基集电已经彻底吃透了整条技术线上的所有环节。
把晶圆丢水裡光刻看似简单，但已经涉及到光刻机光源功率调整和工作台运行速率之间的协调，未来一台高精度光刻机的安装调整测试起码需要一年时间，虽然有海外故意设卡和工作效率不高的缘故，但也足以说明这玩意究竟会有多麻烦。
若没彻底吃透技术光这点调整就束手无策，如果依赖海外的技术人员丢水裡光刻这个秘密压根就没法保密。
这一白天的时间过去，一个经过审核的可靠技术小组已经成立，晶片的中试环节如果用互联网时代的说法来形容大约和不删档公测类似，除了不能上量和保持随时可以整改之外，和批量生產没什麼本质区别。
这次中试港基集电抽调了一条已经能正常运行的5微米生產线，临时用玻璃做了一个装载轻水的容器放在工作台上，技术大佬三人组一起上阵带著十多个技术人员调整了光刻机的功率，由於不需要批量生產的缘故，较为麻烦的工作台运行速率调整可以不动。
略去装轻水的设备除尘等环节不提，东西拉到科技园之后梁远和已经从学校回来的双胞胎先去食堂吃晚饭，然后回到科技园开始了进车间前的“消毒”步骤。
由於这次实验对环境的要求相当高的缘故，梁远和双胞胎都得穿最顶级的防尘服，带密封的玻璃护目镜整个头罩把脑袋都扣上呼吸都被器材过滤的那种。
一套除尘流程下来足足花掉了接近一小时，然后梁远三人才被允许进入到实验车间。
港基集电的生產车间普遍选择米色基调，连设备的涂装都是米色色系，只不过和周围环境深浅不同而已。
两个丫头对梁远搞出来的东西极度的好奇，小心翼翼的跟在梁远身后，眼神灵动的看来看去。
由於实验的缘故，车间裡成群的物料小车都已经停掉，只剩下一台看起来孤零零的白色光刻机停在车间的一侧。
“小远，这次我们能不能看到晶片是怎麼生產出来”
由於採用全密封服装的缘故，梁远头套耳机裡的声音有些失真，也分不出来究竟是哪个丫头在说话。
“光刻机的生產原理和照相类似属於短暂曝光啊，被人类看见了就是曝光过度还怎麼生產晶片”
梁远笑著回了一句。
问话的寧婉嘉有点不好意思的吐了吐小舌，不过因为防尘头套的缘故也没人看见。
“大少，都準备好了，是不是开始实验”
梁远吃饭和消毒的这段功夫，王欣等人已经把轻水灌进了工作台上的容器，晶圆也涂好了光刻胶放进了轻水之中。
目前港基集电所使用的光刻胶，虽然没针对防水这个属性进行过优化设计，不过光刻胶从原料属性上属於树脂的一种本身就具备一定的防水特性。
光刻之后的显影工序本身就需要用纯水冲洗显影液，因此只要不选用遇水溶解的光分解型光刻胶，短暂的实验性生產光刻胶应该不影响晶片的最终成品，当然，这些都是技术大佬三人组理论上的预想，最终如何还需要实际行动来验证。
“好，开始吧。”
“大少你来按啟动按钮吧。”
“不用了，不用了，谁离得近谁按，要不是有点心急，我都不来这裡凑热闹了。”
最终，站在光刻机旁边的聂晓天按下了设备的工作健。
港基集电目前的光刻机大概能有七八立方米大小，设备近似於一个超大的黑箱，晶片曝光时的过程肉眼根本看不见，设备工作更没什麼声响，虽然晶片和航天都是人类的尖端科技，但论起视觉效果这两者简直天差地别。
由於不需要把整个晶圆的面积全部生產利用上，光刻机曝光了十次就停止了工作，在电机的推动下工作台缓缓的从光刻机中退出，开始把晶圆向后续工艺推送。
曝光之后是显影，显影之后是坚膜，再之后工艺进入了检测程序，这步工艺是对晶圆的显影结果进行检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，不合格的晶圆在清洗后进入最初流程重新来过。
不过对於实验室中的眾人来说，检测这一步几乎就足够判定新方法的生死了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。
梁远是啥都不懂，只能看著王欣坐在检测设备前通过电子显微镜观察著刚刚出炉不久的晶圆。
这年头，类似双拥、军民共建单位啥的在正规档案上还没出现，倒是各路部队三產蓬勃发展蒸蒸日上，由於年代的缘故，这类部队三產单位是安置退役官兵的一大主力，比如联航就是最明显的例子。
远嘉某种程度上还真有部队三產的属性，从预备役角度搞个民兵团编製绝对符合当前政策，一般来说民兵的预算归地方、人武部、企业三家协商解决，装备由军区调整或人武部购买，装备范围是共和国现役制式装备。
当然，靠山吃山靠水吃水这条大定理在这裡依然管用，比如靠近北方边境的民兵师由於靠近坦克厂就装备了现役五对轮。
1000所能搞的东西不少，翁承基自然也是代入了靠啥吃啥的定律，以翁承基目前知道的1000所研发计划而言，一旦新装备问世多了不敢说装备一个连帮忙做定型测试肯定没问题，远嘉安保人员本来就素质一流，如果装备也一流了拿下个大比武第一还不玩似的。
几人说话间机场叉车叉著罩著军绿色偽装网的箱子从贝尔法斯特的宽大尾门裡慢慢的行驶出来，有了机械化作业，十吨轻水卸载的速度极快，只用了十五分鐘，接货的卡车就驶离了机场。
此时的科技园已经进入了外松内紧的状态，好在由於1000所的缘故，这种情况对於已经见多识广科技园的员工来说不算什麼异常。
港基集电的中试车间已经粗糙的改造了一台设备，打算直接对梁远的想法进行验证。
这时候就看出来火炬计划的好处了，别看5微米的线宽落伍，但港基集电已经彻底吃透了整条技术线上的所有环节。
把晶圆丢水裡光刻看似简单，但已经涉及到光刻机光源功率调整和工作台运行速率之间的协调，未来一台高精度光刻机的安装调整测试起码需要一年时间，虽然有海外故意设卡和工作效率不高的缘故，但也足以说明这玩意究竟会有多麻烦。
若没彻底吃透技术光这点调整就束手无策，如果依赖海外的技术人员丢水裡光刻这个秘密压根就没法保密。
这一白天的时间过去，一个经过审核的可靠技术小组已经成立，晶片的中试环节如果用互联网时代的说法来形容大约和不删档公测类似，除了不能上量和保持随时可以整改之外，和批量生產没什麼本质区别。
这次中试港基集电抽调了一条已经能正常运行的5微米生產线，临时用玻璃做了一个装载轻水的容器放在工作台上，技术大佬三人组一起上阵带著十多个技术人员调整了光刻机的功率，由於不需要批量生產的缘故，较为麻烦的工作台运行速率调整可以不动。
略去装轻水的设备除尘等环节不提，东西拉到科技园之后梁远和已经从学校回来的双胞胎先去食堂吃晚饭，然后回到科技园开始了进车间前的“消毒”步骤。
由於这次实验对环境的要求相当高的缘故，梁远和双胞胎都得穿最顶级的防尘服，带密封的玻璃护目镜整个头罩把脑袋都扣上呼吸都被器材过滤的那种。
一套除尘流程下来足足花掉了接近一小时，然后梁远三人才被允许进入到实验车间。
港基集电的生產车间普遍选择米色基调，连设备的涂装都是米色色系，只不过和周围环境深浅不同而已。
两个丫头对梁远搞出来的东西极度的好奇，小心翼翼的跟在梁远身后，眼神灵动的看来看去。
由於实验的缘故，车间裡成群的物料小车都已经停掉，只剩下一台看起来孤零零的白色光刻机停在车间的一侧。
“小远，这次我们能不能看到晶片是怎麼生產出来”
由於採用全密封服装的缘故，梁远头套耳机裡的声音有些失真，也分不出来究竟是哪个丫头在说话。
“光刻机的生產原理和照相类似属於短暂曝光啊，被人类看见了就是曝光过度还怎麼生產晶片”
梁远笑著回了一句。
问话的寧婉嘉有点不好意思的吐了吐小舌，不过因为防尘头套的缘故也没人看见。
“大少，都準备好了，是不是开始实验”
梁远吃饭和消毒的这段功夫，王欣等人已经把轻水灌进了工作台上的容器，晶圆也涂好了光刻胶放进了轻水之中。
目前港基集电所使用的光刻胶，虽然没针对防水这个属性进行过优化设计，不过光刻胶从原料属性上属於树脂的一种本身就具备一定的防水特性。
光刻之后的显影工序本身就需要用纯水冲洗显影液，因此只要不选用遇水溶解的光分解型光刻胶，短暂的实验性生產光刻胶应该不影响晶片的最终成品，当然，这些都是技术大佬三人组理论上的预想，最终如何还需要实际行动来验证。
“好，开始吧。”
“大少你来按啟动按钮吧。”
“不用了，不用了，谁离得近谁按，要不是有点心急，我都不来这裡凑热闹了。”
最终，站在光刻机旁边的聂晓天按下了设备的工作健。
港基集电目前的光刻机大概能有七八立方米大小，设备近似於一个超大的黑箱，晶片曝光时的过程肉眼根本看不见，设备工作更没什麼声响，虽然晶片和航天都是人类的尖端科技，但论起视觉效果这两者简直天差地别。
由於不需要把整个晶圆的面积全部生產利用上，光刻机曝光了十次就停止了工作，在电机的推动下工作台缓缓的从光刻机中退出，开始把晶圆向后续工艺推送。
曝光之后是显影，显影之后是坚膜，再之后工艺进入了检测程序，这步工艺是对晶圆的显影结果进行检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，不合格的晶圆在清洗后进入最初流程重新来过。
不过对於实验室中的眾人来说，检测这一步几乎就足够判定新方法的生死了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。
梁远是啥都不懂，只能看著王欣坐在检测设备前通过电子显微镜观察著刚刚出炉不久的晶圆。